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飛行時間二次離子質(zhì)譜儀 PHI nano TOF 3+

二次離子質(zhì)譜儀

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飛行時間二次離子質(zhì)譜儀

新一代 TRIFT 質(zhì)量分析器，更好的質(zhì)量分辨率
適用于絕緣材料的無人值守自動化多樣品分析
離子束技術(shù)
平行成像 MS/MS 功能，助力有機大分子結(jié)構(gòu)分析
多功能選配附件

TRIFT分析器適用于各種形狀的樣品

寬帶通能量+寬立體接收角度

寬帶通能量、寬立體接受角-適用于各種形貌樣品分析

實現(xiàn)高精度分析的一次離子槍

離子束技術(shù)實現(xiàn)更高質(zhì)量分辨

PHI nanoTOF3+ 能夠提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分析：在高質(zhì)量分辨模式下，其空間分辨率優(yōu)于500 nm ；在高

空間分辨模式下，其空間分辨模式優(yōu)于50 nm。通過結(jié)合高強度離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器，可以實現(xiàn)低

噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測量；在這兩種模式下，只需幾分鐘的測試時間，均可完成采譜分析。

TOF-SIMS自動化多樣品分析-適用于絕緣材料

PHI nanoTOF3+搭載全新開發(fā)的自動化多樣品分析功能，程序可根據(jù)樣品導電性自動調(diào)整分析時所需的高度與樣品臺偏壓，可以對包括絕緣材料在內(nèi)的各類樣品進行無人值守自動化TOF-SIMS分析。

整個分析過程非常簡單，只需三步即可對多個樣品進行表面或深度分析：①在進樣室拍攝樣品臺照片；②在進樣室拍攝的照片上指定分析點；③按下分析鍵，設備自動開始分析。過去，必須有熟練的操作人員專門操作儀器才能進行TOF-SIMS分析；現(xiàn)在，無論操作人員是否熟練，都可以獲得高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù)。

標配自動化傳樣系統(tǒng)

PHI nanoTOF3+配置了在XPS上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動樣品傳送系統(tǒng)：樣品尺寸可達100mmx100 mm，而且分析室標配內(nèi)置樣品托停放裝置；結(jié)合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實現(xiàn)對大量樣品的全自動連續(xù)測試。

采用新開發(fā)的脈沖氳離子槍獲得

Patent自動荷電雙束中和技術(shù)

TOF-SIMS測試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應。PHI nanoTOF3+采用自動荷電雙束中和技術(shù)，通過同時發(fā)射低能量電子束和低能量氳離子束，可實現(xiàn)對任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動荷電中和，無需額外的人為操作。

·需要選配Ar離子槍

遠程訪問實現(xiàn)遠程控制儀器

PHI nanoTOF3+允許通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問儀器。只需將樣品臺放入進樣室，就可以對進樣、換樣、測試和分析等所有操作進行遠程控制。我們的專業(yè)人員可以對儀器進行遠程診斷*如需遠程診斷，請聯(lián)系我們的客戶服務人員。

從截面加工到截面分析：只需一個離子源即可完成

標配離子槍FIB(Focused lon Beam)功能

在PHI nanoTOF3+中，液態(tài)金屬離子槍具備FIB功能，可以使用單個離子槍對樣品進行橫截面加工和橫截面TOF-SIMS分析。通過操作計算機，可以快速輕松地完成從FIB處理到TOF-SIMS分析的全過程。此外，可在冷卻條件下進行FIB加工。在選配Ga源進行FIB加工時，可以獲得FIB加工區(qū)域的3D影像；Ga源還可以作為第二分析源進行TOF-SIMS分析。

通過平行成像MS/MS進行分子結(jié)構(gòu)分析[選配]

MS/MS平行成像同時采集MS1/MS2數(shù)據(jù)

在TOF-SIMS測試中，MS1質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片，對于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子，MS1譜圖難以區(qū)分。通過安裝串聯(lián)質(zhì)譜MS2，對于特定離子進行碰撞誘導解離生產(chǎn)特征離子碎片，MS2譜圖可以實現(xiàn)對分子結(jié)構(gòu)的進一步鑒定。PHI nanoTOF3 +具備串聯(lián)質(zhì)譜MS/MS平行成像功能，可以同時獲取分析區(qū)域的MS1和MS2數(shù)據(jù)，為有機大分子結(jié)構(gòu)解析提供了強有力的工具。